장비현황
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SPIN COATER SYSTEM
규격 300~8000RPM SPIN RATE 50 STEPS CONTROL
수량 1
단위 마이다스시스템
SPIN COATER SYSTEM

1. 수평의 water 위에 resist를 한방울씩 떨어 뜨리면서 회전과 함께 resist 막을 형성시키는 장치
2. 장비위치 : 나노바이오실


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